Rectangle

Bahnbrechende Entwicklungen seit 1995.

Meilensteine

Unsere Erfolgsgeschichte im Nischenmarkt der Messtechnik für piezoelektrische Materialien beginnt 1995: Mit der Entwicklung einer Kompensationsmethode gelingt es erstmals, die Hysterese auch in sehr kleinen Strukturen wie ferroelektrischen Speichermaterialien zu messen.

Dieses Alleinstellungsmerkmal legt den Grundstein für viele weitere bahnbrechende Entwicklungen.

  • icon_step1
    2020
    Neuer Geschäftsbereich TMC - Tools, Measurement, Consulting
    Mit dem Engagement von Peter Mardilovich und seinem Team baut aixACCT seinen Testingbereich entscheidend in Richtung Consulting für den gesamten Dünnschichtprozess aus.
  • 2018
    Einführung des ersten Produktionstools Polaron
    Produktionssystem zur automatischen Polung und QA von Bulk und Multilayern.
  • 2016
    Erste Messung des e31,f auf Waferlevel
    Messprinzip ermöglicht die zerstörungsfreie Messung des e31,f mittels Messung des d33,f auf verschiedenen Padgrößen.
  • 2015
    e31,f Erweiterung der TFHSU nach dem Kanno/Muralt-Prinzip
    Probenhaltereinsatz ermöglicht die invertierte Messung des e31,f.
  • 2014
    aixTNT – Through Nozzle Testsystem
    Spezialsystem basierend auf dem ScanningPES zur Charakterisierung von Dünnschicht-Druckköpfen.
  • 2013
    PSHU Kryo
    Erweiterung des Temperaturbereiches unseres Piezo Sample Holders auf -100°C bis 600°C.
  • 2012
    Einführung TFHSU Thin Film Sample Holder Unit
    Dünnschicht-Messplatz für die temperaturabhängige ferroelektrische Charakterisierung.
  • 2009
    aixDBLI Industrial Line
    Vollautomatisches DBLI mit Industrieprober und Loader sowie SECS-GEM zur Anbindung an übergeordnete Produktionskontrollsysteme.
  • 2007
    Einführung CMA und PTTB
    Testsystem zur Charakterisierung von piezoelektrischen Multilayer-Aktoren unter definierter Vorspannung und dynamischen Kraftprofilen.
  • 2006
    Erstes Double Beam Laser Interferometer (DBLI)
    Das erste kommerziell erhältliche Doppelstrahl-Interferometer ermöglicht eine schnelle und hochauflösende Messung des d33,f von geklemmten Dünnschichten.
  • 2006
    4-Punkt-Biege-System (aix4PB)
    Der gemeinsam mit der EPFL entwickelte Messplatz aix4PB dient der Bestimmung des e31,f Koeffizienten von piezoelektrischen Dünnschichten.
  • 2002
    Erstes piezoelektrisches Testsystem (PES)
    Basierend auf dem TF Analyzer entwickeln wir das erste Messsystem zu Charakterisierung piezoelektrischer Bulkmaterialien. Es ermöglicht die simultane Messung von Polarisation und Dehnung unter hohen elektrischen Feldern.
  • 1999
    Erster windowsbasierter ferroelektrischer Analyzer
    aixACCT wird als Spin-Off der RWTH Aachen zur GmbH.
  • icon_step5
    1995
    Gründung mit staatlicher Förderung
    aixACCT ist dem Lehrstuhl von Prof. Waser an der RWTH Aachen zugeordnet.

Vertiefende Informationen zu den wissenschaftlichen Meilensteinen finden Sie hier: