Geprüfte Dünnschichtqualität für perfekte Bauteile
Mit einem DBLI System der Industrial Line prüfen Sie schon sehr früh im Produktionsprozess, bereits vor der Weiterverarbeitung zum fertigen Bauteil, ob das piezoelektrische Verhalten Ihrer Dünnschicht den Anforderungen entspricht und eine gleichmäßige Performance über den Wafer gewährleistet ist. Mit der teil- oder vollautomatisierten Qualitätskontrolle erreichen Sie in Ihrer Produktion höchste Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit. Insgesamt profitieren Sie von höchster Effizienz in der Produktion und maximalem Output an perfekten Bauteilen.
Immer einfach zu bedienen
Unsere Systeme der aixDBLI Industrial Line sind mit einem Industrieprober der Firma Formfactor (vormals Süss Microtech) ausgestattet. Optional ist ein Wafer-Handler erhältlich, der es Ihnen ermöglicht, Ihre Wafer vollautomatisiert zu messen. Für die einfache Bedienbarkeit des Messsystems sorgt unsere Steuerungssoftware DBLI Commander. Das Handling mit automatischem alignment und pattern recognition stellt darüber hinaus eine benutzerunabhängige Ermittlung der Messdaten sicher. Verschiedene Operatorlevel ermöglichen Ihnen den Zugriff auf alle Parameter. Neben einem Wafermap-Editor und einem Rezept-Editor stehen Ihnen auch manuelle Messmodi zur Verfügung. Über eine SecsGEM Interface kann das System außerdem mit einer übergeordneten Produktionssteuerungssoftware kommunizieren.
Garantiert stabile Prozesse
Bei allen Systemen der Industrial Line wenden wir werks- und kundenseitig ein umfangreiches Abnahmeverfahren an, um die Prozessstabilität des Systems zu gewährleisten.
Ihre Vorteile:
- Qualitätskontrolle des abgeschiedenen Films vor weiteren Verarbeitungsschritten
- Unterscheidung zwischen Materialfehler der Dünnschicht und Bauteilausfall
- Wafer-Mapping ermöglicht die Homogenitätsprüfung und gibt Feedback für die Prozessoptimierung
- Einzigartige Auflösung des aixDBLI-Tools besser 1 pm für prozesssensitive Überwachung der wichtigsten Parameter d33,f und e31,f
- Dünnschicht- und Bauteiltest in einem System durch Kombination von DBLI- und SBLI-Technologie
- Kontrolle weiterer charakteristischer Werte, z.B. Durchbruchspannung, Leckstrom, Epsilon und Verlustfaktor
Überzeugen Sie sich anhand unserer Fallbeispiele, welche Vorteile der Einsatz der aixDBLI Industrial Line Ihnen in der Produktion bieten kann. Weitere Features und Spezifikationen finden Sie in unserer Produktinformation: