Probenhalter für Dünnschicht und MEMS

Es besteht aus einer Acrylplatte mit Magnetsockel zur Nutzung mit einem von aixACCT entwickelten Messspitzenhalter. Als Zusatzausstattung ist eine hochauflösende Mikroskopkamera verfügbar. Damit lassen sich Strukturen mit einem Durchmesser von weniger als 20 mm kontaktieren.

Dank optionaler Abdeckung mit Interlock-System besteht die Möglichkeit, auch einen HV Verstärker zu verwenden. Die maximale Probengröße beträgt 8 Zoll.

Sie sind unerlässlich für die Entwicklung von Aktor- oder Sensormaterialien. Die Heizeinheit ist in den Probenhalter integriert, so dass keine zusätzliche Temperaturkammer erforderlich ist.

Als Erweiterung kann ein Laser zur Messung von MEMS Strukturen durch ein Positioniersystem erweitert werden. In Kombination mit einem verbesserten Kamerasystem können Sie auch kleine Strukturen gezielt einrichten. Mit einer optional erhältlichen Probenhalterung lässt sich auch der inverse e_{31 ,f}-Koeffizient nach der Kano/Muralt-Methode bestimmen.

Optional kann der Temperaturbereich auf bis zu 500 °C und/oder -100°C erweitetert werden. Das ermöglicht Ihnen eine umfassende Charakterisierung von ferroelektrischen Hochtemperaturmaterialien

Das garantiert Ihnen die präzise Ermittlung des piezoelektrischen Koeffizienten e_31,f  bei definierten Randbedingungen. Auch ein elektrisches Polen der Probe mit intermittierender Messung des e_31,fKoeffizienten ist möglich. Das ist hilfreich, wenn Sie den Einfluss unterschiedlicher Poling-Bedingungen auf die Performance der Proben untersuchen möchten.

Die neue integrierte Verstärker- und Umschalteinheit erlaubt Ihnen darüber hinaus, Untersuchungen zur Ermüdung mit intermittierenden Messungen des Koeffizienten e_31,f durchzuführen, DC Spannungsabhängigkeiten zu untersuchen und sogar h₃₁ Messungen durchzuführen. Zusätzlich ermöglicht die Temperaturoption die Durchführung temperaturabhängiger Messungen.