aixDBLI Research Line

Höchste Flexibilität und Modularität bei der piezoelektrischen Dünnschichtcharakterisierung bietet die „Research Line“ der aixDBLI-Messsysteme.

Vielfältige Messmöglichkeiten in F & E

Die „Research Line“ unserer DBLI-Messsysteme erlaubt Ihnen eine Vielzahl von Messarten, die von Großsignal-Polarisations- und Dehnungsmessungen auf einzelnen Pads bis hin zu Fatigue-Messungen auf ganzen Wafern reichen. Basierend auf dem PES-System können die Research Line-Systeme jederzeit mit allen Probenhaltern und Messsystemen dieser Reihe erweitert werden. So profitieren Sie von einem individuell auf Ihr Anforderungsprofil  abgestimmtes Messsystem für Ihre piezoelektrischen Materialien.

Flexibel und erweiterbar

Mit Systemen der aixDBLI Research Line messen Sie teilautomatisiert Wafer bis hin zu 8 Zoll. Genauigkeit und Wiederholbarkeit liegen bei den Messungen immer noch unter 1 % Sigma. Aufgrund ihrer hohen Flexibilität und Erweiterbarkeit eignen sich unsere Research line -Systeme sowohl für den Einsatz in Universitäten und Forschungseinrichtungen als auch für die Nutzung in der Vorausentwicklung von Unternehmen. Hier stellt sie eine kostengünstige Alternative zu den komplexen Industrial line – Systemen dar.

Die Systeme der Research Line erhalten Sie wahlweise als manuelle oder motorisierte Systeme. Ihr modularer Aufbau macht es möglich, dass Sie Ihre manuellen Systeme bei Bedarf im Nachhinein automatisieren.

Einfach zu bedienen und präzise

Bei unseren manuellen Systeme mit x,y-Positioniertisch profitieren Sie von einer äußerst einfachen Bedienbarkeit. Automatische Systeme, bei denen motorisierte hochgenaue Verfahrsysteme aus der Mikroskopie eingesetzt werden, bieten Ihnen höchste Positioniergenauigkeit. Sie stehen diesbezüglich In der 8-Zoll-Variante den „großen Brüdern“ der Industrial Line in nichts nach.